一、潔凈室的定義

　　潔凈室，英文名CleanRoom，根據(jù)國(guó)人的語(yǔ)方習(xí)慣也稱為無(wú)塵間、無(wú)塵房、無(wú)塵室、潔凈間、潔凈房、凈化房、凈化室、凈化間、清潔房等。潔凈室的主要功能為控制室內(nèi)污染，沒(méi)有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。潔凈程度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性，是檢驗(yàn)潔凈室質(zhì)量的核心標(biāo)準(zhǔn)，該標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素，分為若干等級(jí)，常用的有國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)內(nèi)區(qū)域行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

　　潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

　　潔凈室相對(duì)無(wú)塵車間、凈化廠房來(lái)說(shuō)，其體積量大小要小很多，通常是指單體房間的凈化工程，潔凈室是空氣無(wú)塵凈化工程中的一個(gè)應(yīng)用很廣泛的項(xiàng)目。

　　二、潔凈室的應(yīng)用行業(yè)

　　凈化工程是一個(gè)應(yīng)用行業(yè)非常廣泛的基礎(chǔ)性配套產(chǎn)業(yè)，在電子信息、半導(dǎo)體、光電子、精密制造、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物工程、航天航空、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應(yīng)用，并根據(jù)行業(yè)的精密與無(wú)塵要求，等級(jí)差別也較大。

　　潔凈室容量體積相對(duì)較小，故潔凈室基本應(yīng)用在上述凈化應(yīng)用行業(yè)中儲(chǔ)藏、檢測(cè)、實(shí)驗(yàn)、化驗(yàn)等工序之中。根據(jù)國(guó)人的語(yǔ)方表達(dá)習(xí)慣也將潔凈室稱為無(wú)塵間、無(wú)塵房、無(wú)塵室、潔凈間、潔凈房、凈化房、凈化室、凈化間、清潔房等等。

　　三、潔凈室的組成部分

　　潔凈室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成（在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的），否則將無(wú)法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室。

　　1、圍房構(gòu)建，即組成潔凈室的密封性空間。包括：

　　1)天花板系統(tǒng)：包括吊桿（Ceilingrod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceilinggrid或Ceilingframe）。

　　2)隔墻板（Partitionalwall）：包括窗戶、門。

　　3)地板：包括高架地板、防靜電板、環(huán)氧自流坪、PVC凈化地板等。

　　4)室內(nèi)室內(nèi)通道輔件：包括風(fēng)淋室、更衣室、傳遞窗等

　　2、空氣調(diào)節(jié)凈化系統(tǒng)，包括：

　　1)凈化機(jī)組、

　　2)過(guò)濾器系統(tǒng)

　　3)管道系統(tǒng):風(fēng)管、水管、銅管等

　　3、智能控制部份，包括：

　　1)照明與照明控制

　　2)智能與遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)

　　四、潔凈室分類

　　潔凈室主要分為工業(yè)潔凈室（無(wú)塵）和生物潔凈室（無(wú)塵，無(wú)菌）

　　工業(yè)潔凈室和生物潔凈室其實(shí)都是屬于潔凈室，本質(zhì)上的區(qū)別主要一個(gè)是針對(duì)無(wú)塵，一個(gè)針對(duì)無(wú)菌，兩者主要目的有所區(qū)別，因此在設(shè)計(jì)和施工要有所側(cè)重。

　　工業(yè)潔凈室適用于精細(xì)機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)（半導(dǎo)體、集成電路等）宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤、膠片、磁帶消費(fèi)）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭消費(fèi)等多行業(yè)。

　　生物潔凈室適用于制藥工業(yè)、醫(yī)院（手術(shù)室、無(wú)菌病房）、食品、化裝品、飲料產(chǎn)品消費(fèi)、動(dòng)物實(shí)驗(yàn)室、理化檢驗(yàn)室、血站等。

　　五、潔凈室中的溫濕度控制

　　潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。

　　例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過(guò)25度。濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)最佳溫度范圍為35—45%。

　　六、潔凈室中的氣流速度規(guī)定

　　這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度，在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時(shí)再說(shuō)明。

　　對(duì)于亂流潔凈室由于主主要靠空氣的稀釋作用來(lái)減輕室內(nèi)污染的程度，所以主要用換氣次數(shù)這一概念，而不直接用速度的概念，不過(guò)對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求；

　　(1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比，要求速度衰減更快，擴(kuò)散角度更大。

　　(2)吹過(guò)水平面的氣流速度（例如側(cè)送時(shí)回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0.2m/s。

　　對(duì)于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱層流潔凈室），由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染，所以截面上的速度就是非常重要的指標(biāo)。過(guò)去都參考美國(guó)20gB標(biāo)準(zhǔn)，采用0.45m/s．但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風(fēng)量是極大的，為了節(jié)能，也都在探求降低速一風(fēng)速的可行性。

　　在我國(guó)，《空氣潔凈技術(shù)措施》和(潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范）都是這樣規(guī)定的

　　垂直平行流（層流）潔凈室≥0.25m/s

　　水平平行流（層流）潔凈室≥0.35m/s